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| 項目\型式 | ノズル直径 (mm) | 排気量 (l/min) | 到達真空度 (-mmHg) | 空気消費量 (Nl/min) | 供給圧力 (Kgf/cm2) |
| VGU-10H5 | 1.0 | 27 | 690 | 44 | 5.0 |
| VGU-10L5 | 1.0 | 36 | 430 | 44 | 5.0 |
| VGU-15H5 | 1.5 | 63 | 690 | 100 | 5.0 |
| VGU-15L5 | 1.5 | 95 | 430 | 100 | 5.0 |
| VGU-20H5 | 2.0 | 110 | 690 | 180 | 5.0 |
| VGU-20L5 | 2.0 | 165 | 430 | 180 | 5.0 |
| VGU-10H3.5 | 1.0 | 25 | 680 | 44 | 3.5 |
| VGU-10L3.5 | 1.0 | 32 | 430 | 44 | 3.5 |
| VGU-15H3.5 | 1.5 | 54 | 680 | 100 | 3.5 |
| VGU-15L3.5 | 1.5 | 86 | 430 | 100 | 3.5 |
| VGU-20H3.5 | 2.0 | 88 | 680 | 180 | 3.5 |
| VGU-20L3.5 | 2.0 | 150 | 430 | 180 | 3.5 |
